Contamination dosimeter with radiation-RAM for alpha particles.

摘要

Die Erfindung löst die Aufgabe, ein Kontaminationsdosimeter mit Radiation - RAM für Alpha-Strahlen zu schaffen, mit dem eine hohe Nachweisempfindlichkeit bei geringem Rauschen, bei Ausführung als großflächiger Sensor, einfacher read out electronic und ausschließlicher Alpha-Strahlungsaktivität unter dem Aspekt eines geringstmöglichen Aufwandes erreicht wird. Zur Anwendung kommt eine Dosimeter-Einrichtung (gem. Fig. 1), in der erfindungsgemäß mindestens ein planares dRAM-Bauelement (3) mit einer Struktur < 3 um und einer wahlweisen Verringerung der Plattenspannung UPL, der 2L- 60keV- Borimplantationen, der I- 140keV- Borimplantation und der I-As-Implantation und erhöhtem Wert für die Gateoxiddicke in der Dosimeter-Einrichtung (1) angeordnet ist. Die Erfindung wird überall dort eingesetzt, wo Alpha-Strahlen vermutet beziehungsweise Alpha-Strahlungsaktivitäten festgestellt werden. <IMAGE>