发明名称 DIGITALLY CONTROLLED POSITION SERVO DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04279907(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19900416549 申请日期 1990.12.30
申请人 MITSUTOYO CORP;NEC CORP 发明人 OKAMOTO KIYOKAZU;MIZUTANI TAKASHI;CHIYOU GIYOKUBU
分类号 G05B13/02;G05B21/02;G05D3/00;G05D3/12 主分类号 G05B13/02
代理机构 代理人
主权项
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