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发明名称 SIMULATING METHOD FOR SHAPE
摘要
申请公布号 JPH04280450(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910043258 申请日期 1991.03.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJINAGA MASATO
分类号 H01L21/316;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/66 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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