发明名称 CIRCUIT TEST DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04280464(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910068039 申请日期 1991.03.07
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>;SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 NAGATSUMA TADAO;ITO MASAHIRO
分类号 G01R19/155;G01R19/00;G01R31/302;G02F1/03;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R19/155
代理机构 代理人
主权项
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