发明名称 CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04280987(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910038840 申请日期 1991.03.06
申请人 CENTRAL GLASS CO LTD 发明人 MORI ISAMU;SUENAGA TAKASHI;NAKANO HISAHARU
分类号 C23C14/22;C23C16/44;C23F4/00;C23G5/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
地址