发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04280959(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910068785 申请日期 1991.03.08
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAKANISHI SHUSUKE;HARADA KEIZO;ITOZAKI HIDEO
分类号 C23C14/06;C23C28/04;H01L39/24 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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