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发明名称
FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH04280959(A)
申请公布日期
1992.10.06
申请号
JP19910068785
申请日期
1991.03.08
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
NAKANISHI SHUSUKE;HARADA KEIZO;ITOZAKI HIDEO
分类号
C23C14/06;C23C28/04;H01L39/24
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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