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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04280624(A)
申请公布日期
1992.10.06
申请号
JP19910043708
申请日期
1991.03.08
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NANBU KAZUO
分类号
H01L21/203;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
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