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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0462461(B2)
申请公布日期
1992.10.06
申请号
JP19860131826
申请日期
1986.06.09
申请人
HITACHI LTD
发明人
KASAI KENICHI;OOGURO TAKAHIRO;ASHIWAKE NORYUKI;ZUSHI SHIZUO
分类号
H01L23/473;H01L23/46;H05K7/20
主分类号
H01L23/473
代理机构
代理人
主权项
地址
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