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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0462350(B2) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19840212855 申请日期 1984.10.11
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ENDO MASAYUKI
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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