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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04280970(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910039655 申请日期 1991.03.06
申请人 NEC CORP 发明人 HIRAGA TAIJI
分类号 C23C14/54;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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