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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04280467(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910042159 申请日期 1991.03.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTSUKA FUMIO
分类号 H01L27/092;H01L21/8238;H01L29/78 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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