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发明名称 PNEUMATICALLY ACTUATED HOLD DOWN GATE
摘要
申请公布号 US5153504(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 US19910690025 申请日期 1991.04.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BONNET, TROY J.;KIRK, JAMES H.
分类号 G01R31/02;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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