发明名称 THIN FILM AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH04280957(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910067851 申请日期 1991.03.07
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD;SUMITOMO CEMENT CO LTD 发明人 NAKAI HIDEMI;KOBAYASHI HIROAKI;KONISHI MIKIRO;MIYAZAWA YOICHI
分类号 C23C14/06;C01G35/00;C23C14/34;C23C14/38 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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