发明名称 PRODUCTION OF METAL OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04280802(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910068047 申请日期 1991.03.07
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN;TSUTSUMI NOBUO;SAKATA KANJI 发明人 TSUTSUMI NOBUO;SAKATA KANJI;KUNITAKE TOYOKI
分类号 C01B13/14;C01B33/12;C01G23/053;C04B41/50 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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