发明名称 WIRING ELEMENT FOR EVALUATION
摘要
申请公布号 JPH04278553(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910065504 申请日期 1991.03.06
申请人 YAMAHA CORP 发明人 YAMAHA TAKAHISA;NAITO MASARU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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