发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPH04279032(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910000005 申请日期 1991.01.04
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI KAZUMI
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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