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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04278586(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910041483 申请日期 1991.03.07
申请人 NEC CORP 发明人 SOEJIMA KATSUMOTO;HIRATA MASAKI
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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