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发明名称 SILICON WAFER CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04278529(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910040404 申请日期 1991.03.07
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI YASUSHI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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