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发明名称 WIRING STRUCTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04278566(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910065505 申请日期 1991.03.06
申请人 YAMAHA CORP 发明人 HOTTA MASAHIKO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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