发明名称 |
ALUMINUM-GALLIUM-ARSENIC PHOTOLUMINESCENCE MEASURING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04279828(A) |
申请公布日期 |
1992.10.05 |
申请号 |
JP19910069275 |
申请日期 |
1991.03.07 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
SAKURADA TAKASHI;NISHINE SHIRO |
分类号 |
G01J1/04;G01J1/22;G01J1/58;H01L21/66 |
主分类号 |
G01J1/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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