发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04279027(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910041838 申请日期 1991.03.07
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UMEMURA EIICHI
分类号 H01L21/285;H01L21/28 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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