MICRODIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE,申请号JP19910040430-传众专利搜索

发明名称	MICRODIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04278555(A)	申请公布日期	1992.10.05
申请号	JP19910040430	申请日期	1991.03.07
申请人	NEC YAMAGUCHI LTD	发明人	AMAI HIDEMI
分类号	G01B11/02;H01L21/66	主分类号	G01B11/02
代理机构		代理人
主权项
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