| 发明名称 |
METHOD FOR DETERMINING THE CHARGE OF A SAMPLE REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0490154(A3) |
申请公布日期 |
1992.09.30 |
| 申请号 |
EP19910120070 |
申请日期 |
1991.11.25 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BRUNNER, MATTHIAS, DR. |
| 分类号 |
G01R31/02;G01R31/302;G01R31/306;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/305 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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