发明名称 MASTER SLICE
摘要
申请公布号 JPH04274364(A) 申请公布日期 1992.09.30
申请号 JP19910059538 申请日期 1991.02.28
申请人 SHARP CORP 发明人 NAKABAYASHI KEIJI;TOYODA TADAO;NISHIMOTO TAKESHI;NAKANO TOSHIHIRO
分类号 H01L27/118;H01L21/82 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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