| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04274351(A) |
申请公布日期 |
1992.09.30 |
| 申请号 |
JP19910059375 |
申请日期 |
1991.03.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI MAIKON SHISUTEMU:KK |
发明人 |
YUGAWA KOICHI;NAKASONE SHINICHI |
| 分类号 |
H01L23/29;H01L23/31;H01L23/50 |
主分类号 |
H01L23/29 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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