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经营范围
发明名称
LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH04274319(A)
申请公布日期
1992.09.30
申请号
JP19910061266
申请日期
1991.03.01
申请人
TOYOTA MOTOR CORP
发明人
ISHIDA SHOJI
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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