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经营范围
发明名称
DIFFUSION APPARATUS FOR SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号
EP0444356(A3)
申请公布日期
1992.09.30
申请号
EP19900314082
申请日期
1990.12.20
申请人
THE CARBORUNDUM COMPANY
发明人
DALCIN, JAMES R.;FLEMISH, JOSEPH R.;ROGERS, MICHAEL C.;TRESSLER, RICHARD E.;TWOREK, JOHN L.;VISWANATHAN, LAKSHMINARAYAN
分类号
H01L21/22;C30B31/14;H01L21/223;(IPC1-7):C30B31/00
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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