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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04274338(A) 申请公布日期 1992.09.30
申请号 JP19910059632 申请日期 1991.02.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OTA YUKIO;KOMARU MAKIO
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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