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发明名称 PARTICLELESS NORMAL PRESSURE CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04274326(A) 申请公布日期 1992.09.30
申请号 JP19910036277 申请日期 1991.03.01
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 USHIGOE TAKATOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/304;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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