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发明名称 BURYING METHOD FOR POLYSILICON CONTACT
摘要
申请公布号 JPH04273122(A) 申请公布日期 1992.09.29
申请号 JP19910053510 申请日期 1991.02.27
申请人 NEC CORP 发明人 IGAWA EIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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