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发明名称 BONDING TOOL
摘要
申请公布号 JPH04273454(A) 申请公布日期 1992.09.29
申请号 JP19910034376 申请日期 1991.02.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAMIMURA SHUNICHI;OSEDO JIRO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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