发明名称 EXHAUSTING/COLLECTING DEVICE WITH OIL ROTATION PUMP USING FLUORINATED TYPE OIL
摘要
申请公布号 JPH04272493(A) 申请公布日期 1992.09.29
申请号 JP19900211769 申请日期 1990.08.10
申请人 NIHON DENSHI ENJINIARINGU KK 发明人 OKUTOMI SHOJI;YAMASHITA TAKUSHI;OKUBO HIROSHI
分类号 F04B37/14;F04C25/02;H01J37/18 主分类号 F04B37/14
代理机构 代理人
主权项
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