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经营范围
发明名称
ION-BEAM ETCHING
摘要
申请公布号
JPH04273124(A)
申请公布日期
1992.09.29
申请号
JP19910033306
申请日期
1991.02.28
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KITADA HIDEKI;ARIMOTO HIROSHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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