| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04273429(A) |
申请公布日期 |
1992.09.29 |
| 申请号 |
JP19910034424 |
申请日期 |
1991.02.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YASUDA HIROSHI;DAIKYO YOSHIHISA;YAMADA AKIO;YASUTAKE NOBUYUKI;NISHINO HISAYASU |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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