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发明名称 FORMATION OF BEAM
摘要
申请公布号 JPH04273460(A) 申请公布日期 1992.09.29
申请号 JP19910055569 申请日期 1991.02.28
申请人 CANON INC 发明人 YAGI TAKAYUKI;NAKAYAMA MASARU;SHIMADA YASUHIRO;TAKAMATSU OSAMU;HIRAI YUTAKA
分类号 C23F1/00;C23F1/02;G01Q60/16;G01Q60/38;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;H01L29/84 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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