| 发明名称 |
TOOL EXCHANGE SYSTEM FOR HYBRID DIE BONDER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US5150530(A) |
申请公布日期 |
1992.09.29 |
| 申请号 |
US19910661888 |
申请日期 |
1991.02.27 |
| 申请人 |
EMHART, INC. |
发明人 |
SCHWEITZER, KARL;ZEINDL, GERHARD |
| 分类号 |
B23Q3/155;H01L21/00;H01L21/52;H01L21/677 |
主分类号 |
B23Q3/155 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
