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发明名称 SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04272174(A) 申请公布日期 1992.09.28
申请号 JP19910053675 申请日期 1991.02.27
申请人 CLARION CO LTD 发明人 SHIMIZU KEIICHI
分类号 C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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