IN-LINE SPUTTERING SYSTEM AND METHOD FOR HEATING ITS CARRIER,申请号JP19910031271-传众专利搜索

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发明名称	IN-LINE SPUTTERING SYSTEM AND METHOD FOR HEATING ITS CARRIER
摘要
申请公布号	JPH04272175(A)	申请公布日期	1992.09.28
申请号	JP19910031271	申请日期	1991.02.27
申请人	NEC CORP	发明人	MURAKAMI NORITAKE
分类号	C23C14/56	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
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