| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04271126(A) |
申请公布日期 |
1992.09.28 |
| 申请号 |
JP19910004951 |
申请日期 |
1991.01.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HACHISUGA ATSUSHI;UGA KIMIHARU;TO KAZUHITO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/165;H01L29/73;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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