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发明名称 FORMING METHOD OF CONTACT HOLE
摘要
申请公布号 JPH04271121(A) 申请公布日期 1992.09.28
申请号 JP19910004855 申请日期 1991.01.21
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TANAKA MASAAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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