| 发明名称 |
CARBON FILM-COATED MEMBER AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04272178(A) |
申请公布日期 |
1992.09.28 |
| 申请号 |
JP19900418693 |
申请日期 |
1990.12.31 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
HAYASHI SHIGENORI;YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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