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发明名称 METHOD FOR REDUCING DEFECT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04270200(A) 申请公布日期 1992.09.25
申请号 JP19900416128 申请日期 1990.12.27
申请人 NAGOYA KOUGIYOU DAIGAKUCHIYOU;DAIDO STEEL CO LTD 发明人 UMENO MASAYOSHI;JINBO TAKASHI;SOGA TETSUO;IMAIZUMI MITSURU;SAKA TAKASHI
分类号 C30B33/04;H01L21/22 主分类号 C30B33/04
代理机构 代理人
主权项
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