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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04269847(A) 申请公布日期 1992.09.25
申请号 JP19910030671 申请日期 1991.02.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIRASAWA SHIGEKI;OWADA NOBUO
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/082;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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