发明名称 SEMICONDUCTOR ELECTRONIC ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04269871(A) 申请公布日期 1992.09.25
申请号 JP19910030663 申请日期 1991.02.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUKAMOTO NOBUO;YAZAWA YOSHIAKI;MINEMURA TETSUO
分类号 H01L29/66;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L29/66
代理机构 代理人
主权项
地址