| 发明名称 |
POLYIMIDE FILM PROCESSING METHOD AND WIRING FORMING METHOD USING THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04269829(A) |
申请公布日期 |
1992.09.25 |
| 申请号 |
JP19910053355 |
申请日期 |
1991.02.25 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HIRANO MAKOTO;ASAI KAZUYOSHI;IMAI YUUKI |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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