发明名称 INTERFERENCE OPTICAL APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04269611(A) 申请公布日期 1992.09.25
申请号 JP19910030707 申请日期 1991.02.26
申请人 CANON INC 发明人 KATO MASATOSHI
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/245;G01B11/26 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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