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发明名称
TARGET FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号
JPH04268074(A)
申请公布日期
1992.09.24
申请号
JP19910049098
申请日期
1991.02.20
申请人
DAIDO STEEL CO LTD
发明人
OMORI HIROSHI;NISHIKAWA YOHACHI;YAMANE TORU
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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