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发明名称 Method for producing integrated circuitry components
摘要
申请公布号 US3193408(A) 申请公布日期 1965.07.06
申请号 US19610133276 申请日期 1961.08.22
申请人 TRILLER DAVID P 发明人 TRILLER DAVID P.
分类号 C23C14/04;H01L21/00;H01L21/82 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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