| 发明名称 |
FACING METHOD AT ETCHING OF METALLIC SHEET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04268084(A) |
申请公布日期 |
1992.09.24 |
| 申请号 |
JP19910050385 |
申请日期 |
1991.02.22 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD;YAMAKAWA KOJI |
发明人 |
MIYAJI YASUYOSHI;SHIN YASUNORI;SOTOMI MASAJI;YAMAKAWA KOJI |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/28;C25F3/06;C25F7/00;H01J9/14;H01L23/50;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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