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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0459776(B2)
申请公布日期
1992.09.24
申请号
JP19860139291
申请日期
1986.06.17
申请人
NIPPON DENKI KK;KAIJOO KK
发明人
OKAMURA MINORU;SATO TATSUO;MYOSHI HIDEAKI;KANDA JUJI
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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